聯(lián)系方式
CONTACT INFO
13912321208
聯(lián)系人：陳先生
地址：江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)禮嘉鎮(zhèn)政平村
[重慶真空鍍膜廠家]薄膜厚度的測量技巧
發(fā)布時(shí)間：2021-11-24 13:59:46 點(diǎn)擊次數(shù)：886
伴隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步和儀器儀表的運(yùn)用，薄膜厚度測量方式有很多，依照測量的方法分可以分成兩大類：立即測量和間接性測量。立即測量指運(yùn)用測量儀器設(shè)備，根據(jù)觸碰（或光觸碰）立即磁感應(yīng)出薄膜的厚度。普遍的立即法測量有：螺旋式測微法、高精密輪廊掃描儀法（階梯法）、掃描儀電子顯微法（SEM）；
間接性測量指依據(jù)一定相匹配的物理學(xué)關(guān)聯(lián)，將相應(yīng)重慶真空鍍膜廠家的標(biāo)量通過測算轉(zhuǎn)換為薄膜的厚度，進(jìn)而做到測重慶真空鍍膜廠家量薄膜厚度的目地。
普遍的間接性法測量有：稱量法、電容器法、電阻器法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。依照測量的基本原理可分成三類：稱量法、電力學(xué)法、電子光學(xué)法。
普遍的重慶真空鍍膜廠家稱量法有：天平秤法、石英石法、原子數(shù)測定方法；
普遍的電力學(xué)法有：電阻器法、電容器法、渦旋法；
普遍的電重慶真空鍍膜廠家子光學(xué)方式有：等厚干涉法、變角干涉法、吸光法、橢圓偏振法。
下邊簡易詳細(xì)介紹三種：
1. 干涉光學(xué)顯微鏡法重慶真空鍍膜廠家
干涉花紋間隔Delta;0，花紋挪動(dòng)Delt重慶真空鍍膜廠家a;，階梯高為t=(Delta;/Delta;0 )*0.5lambda;，測到Delta;0 和Delta;，就可以，在其中l(wèi)ambda;為可見光光波長，如用白光燈，lambda;取 530nm。
2. 稱重法
假如薄膜總重慶真空鍍膜廠家面積A，相對(duì)密度rho;和品質(zhì)m可以被精準(zhǔn)測量得話，膜厚t就可以推算出來：
d=m/Arho;。
3 石重慶真空鍍膜廠家英石晶振電路法
間接性測量指依據(jù)一定相匹配的物理學(xué)關(guān)聯(lián)，將相應(yīng)重慶真空鍍膜廠家的標(biāo)量通過測算轉(zhuǎn)換為薄膜的厚度，進(jìn)而做到測重慶真空鍍膜廠家量薄膜厚度的目地。
普遍的間接性法測量有：稱量法、電容器法、電阻器法、等厚干涉法、變角干涉法、橢圓偏振法。依照測量的基本原理可分成三類：稱量法、電力學(xué)法、電子光學(xué)法。
普遍的重慶真空鍍膜廠家稱量法有：天平秤法、石英石法、原子數(shù)測定方法；
普遍的電力學(xué)法有：電阻器法、電容器法、渦旋法；
普遍的電重慶真空鍍膜廠家子光學(xué)方式有：等厚干涉法、變角干涉法、吸光法、橢圓偏振法。
下邊簡易詳細(xì)介紹三種：
1. 干涉光學(xué)顯微鏡法重慶真空鍍膜廠家
干涉花紋間隔Delta;0，花紋挪動(dòng)Delt重慶真空鍍膜廠家a;，階梯高為t=(Delta;/Delta;0 )*0.5lambda;，測到Delta;0 和Delta;，就可以，在其中l(wèi)ambda;為可見光光波長，如用白光燈，lambda;取 530nm。
2. 稱重法
假如薄膜總重慶真空鍍膜廠家面積A，相對(duì)密度rho;和品質(zhì)m可以被精準(zhǔn)測量得話，膜厚t就可以推算出來：
d=m/Arho;。
3 石重慶真空鍍膜廠家英石晶振電路法
